【无锡继航钢材有限公司  】

按偏压的不同作用形式，可以在同一个真空周期内分别进行注入、沉积或同时进行注入与沉积，对增艺灵活性十分有利。在较高温度下的等离子渗工艺也有很好的表面强化作用。土耳其空科学院航天技术研究所即利用等离子体硼化技术具以钛合金，效率提高数倍[7]。离子体材料去除材料去除是概念的主要内涵之一。集成电路工艺中，离子刻蚀一直是重要的工序。随着技术的不断发展，非传统材料去除工艺的应用越来越广泛。

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