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回收旧单晶硅炉+绍兴嵊州涡旋高真空泵回收的公司

发布:2024/3/3 20:01:57 来源:shxj365
旧单晶硅炉绍兴嵊州涡旋高真空泵的本文拟采用有限元分析的方法,对单晶炉的提拉系统进行分析。会严重地影响单晶体的内在品质。因此,避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现,某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时。不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化,造成有效分凝系数的变动,导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀,引起对流情况不稳定,导致生长时固液界面过冷度的变化。目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约,单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要旋转运动,又要上升运动,同时还要保持速度稳定。单晶炉是人工晶体的专用设备基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料对中性好为枝晶生长条件[1]提拉系统的软轴会出现明显的晃动找出引起提拉系统软轴晃动。以石墨电阻加热器,将硅半导体材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。它可以生产大规模太阳能电池,集成电路所需要的高品质硅单晶。单晶炉主机系统包括:底座立柱,坩埚驱动装置,主炉室,翻板阀室,副炉室,籽晶提升与旋转机构,液压驱动装置,真空系统,充气系统及水冷系统。炉室结构为顶升式,主炉室和副炉室启时由液压传动装置实现上移。炉室和副炉室之间。TD-800型软轴提拉型单晶炉设有浮动式翻板阀室。是根据用户实际需求研发的新产品。是在流动惰性气体环境中可在现场维持工艺温度的情况下,取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。

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