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单晶炉型号定义单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。比如85炉，是指主炉筒的直径大小，120、150等型号是由装料量来决定的单晶炉主要需要控制的方面一、晶体直径（尺寸）二、温度（功率控制）三、原料（硅料）四、泄漏率，氩气质量等

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感应炉，真空炉，电子束炉，热（或熔炼）机组，热辅助设备，燃烧炉三． 电阻炉：三大部件：加热器辊底炉） C． 工作区内力求温度均匀。? 炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗 抽真空管道 组成